salicide工艺目的(AlignedSilicide工艺:高效制备硅化物材料)
2024-07-30什么是salicide工艺 salicide工艺,全称为Self-aligned silicide(自对准硅化物)工艺,是一种用于制备硅化物材料的高效工艺。硅化物是一种在半导体工业中广泛应用的材料,可用于制造电子器件中的金属电极和接触层。salicide工艺通过电子束蒸发或物理气相沉积的方式,在半导体表面上形成一层金属薄膜,然后通过热处理使金属与硅表面发生反应,形成硅化物材料。 salicide工艺的优势 salicide工艺具有多项优势,使其成为制备硅化物材料的首选工艺。salicide工艺